电容传感器广泛用于压力、位移、加速度、厚度、振动、液位等测量中。电容式传感器具有结构简单、耐高温、耐辐射、分辨率高、动态响应特性好等优点。典型的电容式传感器由上下电极、绝缘体和衬底构成。当薄膜受压力作用时,薄膜会发生一定的变形,因此上下电极之间的距离发生一定的变化,从而使电容发生变化。但电容式压力传感器的电容与上下电极之间的距离的关系是非线性关系,因此要用具有补偿功能的测量电路对输出电容进行非线性补偿。
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